| 主权项 |
1.一种清洁用于移动及储存物体之盒子的盒子清洁系统,包括:一个围壁;一个在该围壁内可旋转地支撑的转子,该转子具有盒子收容位置;置放复数个喷洒歧管以对该转子喷洒一清洁或洗净液体,至少其中之一个喷洒歧管具有复数个直线型喷洒喷嘴,且具有至少一个有角度的喷洒喷嘴。2.如申请专利范围第1项之清洁系统,其中该直线型喷洒喷嘴喷洒具有一个水平中央轴之图案,且该有角度的喷洒喷嘴以一个相对于该水平中央轴之角度向上或向下延伸地喷洒。3.如申请专利范围第2项之清洁系统,其中该角度为30-60度。4.如申请专利范围第1项之清洁系统,其中该有角度的喷洒喷嘴被导向成喷洒具有中心轴且其相反于该转子旋转方向之图案。5.如申请专利范围第1项之清洁系统,其中该歧管具有由至少两个直线型喷洒喷嘴所分开之两个有角度的喷嘴。6.一种清洁用于承载或储存物体的五边形盒子之盒子清洁方法,具有下列步骤:将该盒子置放在一转子之内或其之上,且该盒子之开口端由该转子之中心径向地向外;旋转收容该盒子之转子;将一液体的第一次喷洒向该转子的中心或其旋转轴喷洒;及将该液体的第二次喷洒以一相对于第一次喷洒的角度喷洒。7.如申请专利范围第6项之方法,其中该第一次喷洒以一具有一中心线或大致水平的中心轴之图案喷洒,而该第二次喷洒以一具有为大致水平之中心线的图案喷洒。8.如申请专利范围第6项之方法,其中该第一次喷洒系为水平方向,而该第二次喷洒系为以一相对于该第一次喷洒向上或向下的方向之角度。9.如申请专利范围第7项之方法,其中该第一次喷洒的中心轴瞄准该转子之中心,且该第二次喷洒的中心线以一相对于该第一次喷洒的角度瞄准,使得该第二次喷洒喷洒出与该转子之旋转方向相同或相反方向的一液体图案。10.一种清洁具有一盒子及一附着于该盒子之一门的容器清洁方法,包含下列步骤:将该门自该盒子上分离;利用将该盒子之上前端置放于一盒子收容器之一上腿部之后而将该盒子装载于一盒子清洁器中一转子上之该盒子收容器;将该盒子向上举起;旋转该盒子以将该盒子之底部移进该盒子收容器;移动该盒子较低的前端于该盒子收容器中一较低的钩子之上;及降低该盒子以将该盒子较低的前端置放在该较低的钩子之后;旋转该转子;将一液体喷洒在该盒子上;且乾燥该盒子。11.如申请专利范围第10项之方法,更包含乾燥该盒子的步骤,其系为一向下吹第一乾燥气体至该盒子上及对该盒子喷射一第二乾燥气体。12.一种盒子清洁器,包含:一围壁;一在围壁中之转子;一在围壁上之盒子收容器,该盒子收容器具有:复数个在该盒子收容器上方末端之上方的钩子;及复数个在该盒子收容器下方末端之下方的钩子。13.如申请专利范围第12项之盒子清洁器,更包含在每个钩子上有朝向该转子旋转中心内的一脚。14.一种在清洁环境中清洁用于容纳扁平物体之盒子清洁系统,该盒子均有一门,包含:在一围壁内可旋转地装载一转子;在该转子上之至少一个盒子收容器组件,其具有至少一个收容一盒子之位置;及至少一个在该转子上之门收容器组件,其具有至少一个收容盒子门之位置。15.如申请专利范围第14项之系统,其中该转子具有四个盒子收容器组件及一个门收容器组件。16.如申请专利范围第14项之系统,其中每个盒子门收容位置具有一上方的门钩、一下方的门钩及一门导轨。17.如申请专利范围第16项之系统,其中至少一个上方的门钩及下方的门钩具有一分叉的头。18.如申请专利范围第17项之系统,其中该分叉的头具有一长臂及一短臂,并在其之间形成一分叉的槽。19.如申请专利范围第16项之系统,其中该门导轨包含一以相对于一支撑墙之角度延伸的有角度的墙。20.如申请专利范围第14项之系统,其中该门收容器组件包含附着于一上板、一中板及一底板之一左侧板及一右侧板,并形成一上方的隔间及一下方的隔间,且每个隔间均有复数个上方及下方的门钩与门导轨。21.一种盒子门清洁方法,包含下列步骤:将一盒子门以一第一方向滑近一清洁装置内的一门导轨;将该门的至少一侧以一第二方向移动;及将该门以一第三方向移动,而该第二方向实质垂直于该第三方向。22.如申请专利范围第21项之方法,其中该第一方向及该第三方向形成一锐角。23.如申请专利范围第21项之方法,更包含当该门以第三方向移动直到一门钩锁紧该门之步骤。24.如申请专利范围第21项之方法,更包含当该门以第二方向移动时将该门降低以移进一门导轨之步骤。25.如申请专利范围第21项之方法,更包含在该清洁装置中旋转该盒子门的步骤,且其利用以至少一门钩收纳该门之一较外边缘的离心力而限制该门之移动。图式简单说明:图1系清洁载具盒子及载具门,用于收容半导体晶圆及类似物体之系统的透视图。图2系图1中所示在盒子清洁器中之转子的透视图。图3系图2中所示盒子收容器组件之放大透视图。图4系其侧视图。图5系一载具盒子之透视图。图6系部分侧视图,显示如图5中盒子装载进如图3及图4中收容器组件之顺序。图7系如图1中所示之载具门清洁器之透视图。图8系如图7中所示之升降机及槽之透视图。图9系其部分之侧视图。图10系如图7中所示之门清洁器之线路图。图11系如图2中所示与转子一起使用之盒子门收容器组件的透视图。图12系其透视图。图13系类似图1-6中所示之系统之另一系统的侧视图,但其具有改良的喷嘴结构。图14系如图13中所示系统之围壁(enclosure)、转子与喷洒歧管之透视图。图15-20为图13及图14所示之系统中的喷洒图案、喷嘴方向及容器/转子移动之图。图21系图13-20中系统使用之有角度的喷洒喷嘴之透视图。图22系如图21中所示之喷嘴的放大截面图。图23系一左或右喷洒歧管一段之透视图。图24系一上或下喷洒歧管一段之透视图。 |
