| 主权项 |
1.一种多重基板定位器,至少包含:一可旋转基板处理器,具有多个基板支撑部分,每一个该基板支撑部分被使用来支撑一基板;多个被堆叠之基板支撑器,每个该基板支撑器被使用来支撑一基板;多个基板定位标记(SOM)探测器,每个该SOM探测器耦合到该多个基板支撑器中不同之一个,并用来确认基板SOM之出现,该基板位于离该SOM探测器足够近之距离以允许该SOM探测器检测SOM;以及多个上升和下降机制,每个该上升和下降机制耦合到该多个基板支撑器中不同之一个,并用来个别地上升和下降该多个基板支撑器中不同之一个。2.如申请专利范围第1项所述之多重基板定位器,其中上述可旋转基板处理器之该每一个基板支撑部分至少包含一宽度小于基板直径之叶片,而该基板是由该基板支撑部分所支撑。3.如申请专利范围第2项所述之多重基板定位器,其中上述多个堆叠基板支撑器之该每一个基板支撑器是用来于近于基板边缘处支撑该基板,因此当由该可旋转基板处理器之该基板支撑部分放置一基板在该基板支撑器上时,并没有与该可旋转基板处理器之该基板支撑部分接触。4.如申请专利范围第1项所述之多重基板定位器,其中上述每个SOM探测器至少包括以光学纤维为基础之感应器,以感测一基板之刻痕。5.如申请专利范围第1项所述之多重基板定位器,其中上述每个SOM探测器至少包含以光学纤维为基础之感应器,以感测一基板之平面。6.如申请专利范围第1项所述之多重基板定位器,其中上述每个上升和下降机制至少包含一可充气式汽缸。7.如申请专利范围第1项所述之多重基板定位器,更包含一控制器,该控制器与该可旋转基板处理器、多个SOM探测器和多个上升和下降机制耦合,该控制器并拥有一程式码以:同时大略性定位多个位于该可旋转基板处理器之该基板支撑器部份之基板;以及个别性地将每个大略被定位之该基板进行精细定位。8.如申请专利范围第7项所述之多重基板定位器,其中上述控制器之程式码是藉由定位每一基板之SOM,以于90度范围内但趋近于90度之旋转来与多个SOM探测器中之一个进行对准,以同时大略性定位多个位于该可旋转基板处理器之该基板支撑器部份之基板。9.如申请专利范围第7项所述之多重基板定位器,其中上述控制器之程式码是藉由个别性地旋转每个被大致性定位之基板,使得每一基板之SOM与多个SOM探测器中之一个对准,以个别性地将每个大略被定位之基板进行精细定位。10.如申请专利范围第1项所述之多重基板定位器,其更包含一控制器,该控制器与该可旋转基板处理器、多个SOM探测器和多个上升和下降机制耦合,该控制器并拥有一程式码以:a)放置多个基板中之每一个,而每一个基板是由在该可旋转基板处理器之不同基板支撑部分所支撑,于基板支撑堆叠之多个不同基板支撑器其中一个之上;b)一预先决定总量之角度来旋转该可旋转基板处理器;c)于旋转过程中决定该每个基板定位标记之出现或不出现,而该每个基板由在该可旋转基板处理器之基板支撑部分所支撑;d)从该每个基板之基板支撑部分,运送由该可旋转基板处理器之基板支撑部分所支撑之每个基板,至多个堆叠基板支撑器中之一个基板支撑器;e)决定是否检测到每个基板之SOM,假如未检测到:f)运送支撑一SOM未被检测到之基板之每一个基板支撑器,至该可旋转基板处理器之基板支撑部分;以及g)重复b)至f)直至每个基板之SOM被检测到。11.如申请专利范围第10项所述之多重基板定位器,其中上述预先决定之角度是趋近于90度。12.如申请专利范围第10项所述之多重基板定位器,其中上述控制器具有一额外之程式码,以:h)一旦该每个基板之SOM被检测到,对于每个由堆叠基板支撑器中之一个基板支撑器所支撑之基板,个别地每个基板将被运送至该可旋转基板处理器之基板支撑部分之上,及旋转该可旋转基板处理器直至该基板之SOM与该多个SOM探测器中之一个对准。13.如申请专利范围第12项所述之多重基板定位器,其中上述步骤b)之旋转有一较高之速率比步骤h)之旋转。14.一种多重基板定位器,其至少包含:一可旋转基板处理器,具有多个基板支撑部分,每一个基板支撑部分被使用来支撑一基板;多个被堆叠之基板支撑器,每个基板支撑器被使用来支撑一基板;多个基板定位标记(SOM)探测器,每个SOM探测器耦合到该多个基板支撑器中不同之一个,并用来辨认基板SOM之出现,该基板位于离该SOM探测器足够近之距离以允许该SOM探测器检测SOM;以及多个上升和下降机制,每个上升和下降机制耦合到该可旋转基板处理器之该多个基板支撑部分中之不同一个,并用来个别地上升和下降该多个基板支撑部分中之不同一个。15.如申请专利范围第14项所述之多重基板定位器,其中上述可旋转基板处理器之每一个基板支撑部分至少包含一宽度小于基板直径之叶片,而该基板是由该基板支撑部分所支撑。16.如申请专利范围第15项所述之多重基板定位器,其中上述多个堆叠基板支撑器之每一个基板支撑器是用来于近于基板边缘处支撑该基板,因此当由该可旋转基板处理器之该基板支撑部分放置一基板在该基板支撑器上时,并没有与该可旋转基板处理器之该基板支撑部分接触。17.如申请专利范围第14项所述之多重基板定位器,更包含一控制器,该控制器与该可旋转基板处理器、多个SOM探测器和多个上升和下降机制耦合,该控制器并拥有一程式码以:同时大略性定位多个位于该可旋转基板处理器之该基板支撑器部份之基板;以及个别性地将每个大略被定位之该基板进行精细定位。18.一种基板定位器,其至少包含:一可旋转基板处理器,具有一基板支撑部分以使用来支撑一基板;一基板支撑器,用来支撑一基板;一基板定位标记(SOM)探测器,该SOM探测器耦合到该基板支撑器,并用来辨认基板SOM之出现,该基板位于离该SOM探测器足够近之距离以允许该SOM探测器检测SOM;一上升和下降机制,该上升和下降机制耦合到该基板支撑器,以用来上升和下降该基板支撑器;以及一控制器,该控制器与该可旋转基板处理器、SOM探测器和该上升和下降机制耦合,该控制器并拥有一程式码以用来:大略性定位位于该可旋转基板处理器之该基板支撑器部份上之基板;以及将大略被定位之该基板进行精细定位。19.一种基板定位器,其至少包含:一可旋转基板处理器,具有一基板支撑部分以使用来支撑一基板;一基板支撑器,用来支撑一基板;一基板定位标记(SOM)探测器,该SOM探测器耦合到该基板支撑器,并用来辨认基板SOM之出现,该基板位于离该SOM探测器足够近之距离以允许该SOM探测器检测SOM;一上升和下降机制,该上升和下降机制耦合到该可旋转基板处理器,以用来至少地上升和下降该可旋转基板处理器之基板支撑器部分;一控制器,该控制器与该可旋转基板处理器、SOM探测器和该上升和下降机制耦合,该控制器并拥有一程式码以用来:大略性定位位于该可旋转基板处理器之该基板支撑器部份上之基板;以及将大略被定位之该基板进行精细定位。20.一种定位多个基板之方法,该方法至少包含:提供具有多个基板支撑部分之可旋转基板处理器,每一个该基板支撑部分被使用来支撑一基板;提供多个被堆叠之基板支撑器,每个该基板支撑器被使用来支撑一基板;放置多个基板中之每一个,而每一个基板是由在该可旋转基板处理器之不同基板支撑部分所支撑,于基板支撑堆叠之多个不同基板支撑器其中一个之上;同时性地大略定位该多个基板,至少经由该可旋转基板处理器;以及个别性地将大略被定位之该每个基板进行精细定位,至少经由该可旋转基板处理器,以及该多个堆叠之基板支撑器。21.如申请专利范围第20项所述之方法,其中上述该同时性地大略定位该多个基板至少包含:a)藉由一预先决定之总量旋转该可旋转基板处理器;b)于旋转过程中决定该每个基板定位标记(SOM)之出现或不出现,而该每个基板由在该可旋转基板处理器之基板支撑部分所支撑。c)从该每个基板之基板支撑部分,运送由该可旋转基板处理器之基板支撑部分所支撑之每个基板,至多个堆叠基板支撑器中之一个基板支撑器;d)决定是否检测到每个基板之SOM,假如未检测到:e)运送支撑一SOM未被检测到之基板之每一个基板支撑器,至该可旋转基板处理器之基板支撑部分;以及f)重复a)至e)直至每个基板之SOM被检测到。22.如申请专利范围第20项所述之方法,其中上述预先决定之总量是趋近于90度。23.如申请专利范围第20项所述之方法,其中上述个别性地将大略被定位之该每个基板进行精细定位至少包含,一旦每个基板之SOM被检测到,对于每个由堆叠基板支撑器中之一个基板支撑器所支撑之基板,个别地每个基板将被运送至该可旋转基板处理器之基板支撑部分之上,及旋转该可旋转基板处理器直至该基板之SOM与该多个SOM探测器中之一个对准。24.一种定位一基板之方法,该方法至少包含:提供具有一基板支撑部分之一个可旋转基板处理器,该基板支撑部分被使用来支撑一基板;提供一基板支撑器,用来支撑一基板;放置一个由该可旋转基板处理器之基板支撑部分所支撑之一基板于基板支撑器之上;大略定位该基板,至少经由该可旋转基板处理器;以及将大略被定位之该基板进行精细定位,至少经由该可旋转基板处理器,以及该基板支撑器。图式简单说明:第1A和1B图分别为根据本发明而创作之多重基板定位器结构之顶端平面视图和侧面垂直视图;第1C图为第1A和1B图之多重基板定位器之另一具体实施例之侧面垂直视图;第2A和2B图为使用于第1A和1B图之多重基板定位器或第1C图之多重基板定位器之一较优之SOM探测器透视图;以及第3图为第1A和1B图之多重基板定位器之较优操作之流程图。 |
