| 主权项 |
1.一种产能监控系统,系用以监控至少一机台群组,该机台群组由一复合式机台及一机台伺服器所组成,其中该机台伺服器系用以控制该复合式机台执行至少一种作业事件,且在该作业事件中包括复数个产出因子;该产能监控系统包括:一因子撷取装置,用以即时取得该复合式机台在执行该作业事件中,分别对应于特定动作阶段之产出因子的复数个原始时间资料;以及一使用端应用装置,用以即时储存该等时间资料以及相对应之产出因子相关资讯,并可随时依所设定之参数,依据该等资料与资讯,显示出监控结果。2.如申请专利范围第1项所述之产能监控系统,其中该等产出因子中包含有一代表两动作间之闲置时间的产出因子。3.如申请专利范围第1项所述之产能监控系统,其中该使用端应用装置包含:一资料伺服器,用以储存该等时间资料与资讯;一分析装置,用以依据该资料伺服器所存资料与资讯,以及所设定之参数,分析出该监控结果;以及,一输出入装置,用以输入参数并输出该监控结果。4.如申请专利范围第1项所述之产能监控系统,其中该监控结果为就某一种类型之事件计算出的实际单位时间平均产出量。5.如申请专利范围第1项所述之产能监控系统,其中该监控结果为特定产出因子在一特定时段内就各事件别而得之分析与统计。6.如申请专利范围第1项所述之产能监控系统,其中该原始时间资料系指该复合式机台在执行该作业事件时,由该因子撷取装置记录该产出因子之实际起讫运作时间而得者。7.如申请专利范围第1项所述之产能监控系统,其中该因子撷取装置系配置于该机台伺服器中。8.如申请专利范围第1项所述之产能监控系统,其中该使用端应用装置并包含一标准値设定装置,用以设定各产出因子之相对应标准値。9.如申请专利范围第8项所述之产能监控系统,其中该分析装置还包含一异常标示装置,用以藉由将该等时间资料与相对应之标准値作一比较,而将属异常者,以特殊标记显示于该监控结果上。10.如申请专利范围第8项所述之产能监控系统,其中该分析装置还包含一标准値推定装置,用以根据一特定数学模式,依据该使用端应用装置中所储存之产出因子相关资料,计算出各产出因子之最适化标准値。11.如申请专利范围第9项所述之产能监控系统,其中该异常标记装置一并显示出异常原因。12.如申请专利范围第1项所述之产能监控系统,其中该机台群组系黄光微影制造机组,包括上光阻显影机台及曝光机台。13.一种产能监控方法,用以监控至少一复合式机台,其中该复合式机台系用以执行一作业事件,在执行中之该作业事件包含复数个产出因子,该产能监控方法之步骤包括:一因子撷取与储存步骤,用以根据机台运转当中之产出因子,分别即时取得相对应于各产出因子的原始时间资料,并储存之;以及一查询分析步骤,用以随时依特定查询参数,根据该等被储存之资料,显示出监控结果。14.如申请专利范围第13项所述之产能监控方法,其中该监控结果为就某一种类型事件所算出之实际单位时间平均产出量。15.如申请专利范围第13项所述之产能监控方法,其中该监控结果为特定产出因子在一特定时段内就各事件而得之分析与统计。16.如申请专利范围第13项所述之产能监控方法,其中该等产出因子包含一代表代动作间之闲置时间的产出因子。17.如申请专利范围第13项所述之产能监控方法,其中还包含一标准値设定步骤,用以设定各产出因子之相对应标准値。18.如申请专利范围第17项之所述产能监控方法,其中还包含一标准値推定步骤,用以根据一特定函数,依据所储存之产出因子相关资料,计算出各产出因子之最适化标准値。19.如申请专利范围第17项所述之产能监控方法,其中还包含一异常标示步骤,藉由将该等时间资料与相对应之标准値作一比较,而将属异常者,以特殊标记显示于该监控结果上。20.如申请专利范围第19项所述之产能监控方法,其中该特殊标记还包含异常原因。图式简单说明:第1图为本发明所揭产出因子相较于习知运转时间之对照示意图;第2图为本发明所揭监控系统之方块图;第3a图为应用于本发明所揭监控系统中之黄光微影制造机组之一结构示意图;第3b图为依据本发明所揭监控系统之分析模式下,各事件所属产出因子之时间分布示意图;第4图为在本发明所揭监控系统之分析中,如何计算两动作间之闲置时间的示意图;第5图为在本发明所揭监控系统之分析下,各机台群组中每一批晶圆之晶圆载入这一产出因子在一特定期间内的平均耗时分析比较图;第6(a)图为根据本发明所揭监控系统之分析下,针对曝光时间这一产出因子显示出异常标示的示意图;第6(b)图为一根据本发明较佳实施例而成之一异常原因显示例;第7图为一根据本发明较佳实施例而成之一流程的前段部分之流程图;第8图为一根据本发明较佳实施例而成之一流程的后段部分之流程图;以及第9图为一根据本发明较佳实施例而成之用以计算标准値的流程图。 |
