| 摘要 |
1. Способ ионно-плазменного напыления материала катода на полимерные пленочные материалы, включающий круговое вращение подложки вокруг своей оси для чистки всех поверхностей внутри рабочей камеры и осаждение функциональных покрытий, при этом подложку с натяжением размещают на наружной поверхности полого барабана, полость которого используют для циркуляции среды, охлаждающей подложку во время обработки, отличающийся тем, что подложку, намотанную на вращающийся стержень, перематывают на другой вращающийся стержень через наружную поверхность неподвижного барабана с постоянным натяжением и заданной скоростью, а после полной перемотки подложки с одного стрежня на другой процесс повторяют до тех пор, пока давление в рабочей камере не установится равным (1-4)·10мм рт. ст.2. Устройство для осуществления способа ионно-плазменного напыления материала катода на полимерные пленочные материалы, содержащее полый металлический барабан, на наружной поверхности которого с натяжением размещена подложка, имеющая возможность перемещаться как в среде аргоновой плазмы во время чистки поверхностей всех изделий внутри рабочей камеры, так и совершать движение перед металлическим катодом во время осаждения функциональных покрытий, отличающееся тем, что устройство содержит два стержня, выполненных с возможностью вращения, на один из которых намотана подложка, а также два свободно вращающихся стержня, снабженных стопорным устройством для обеспечения необходимого натяжения подложки относительно наружной поверхности неподвижного полого барабана. |
