用于氮化钛原子层沉积之反应室硬体设计

摘要

本发明提供一种沉积原子层(ALD)之方法。在一态样中，该上盖组件包括具有一上与下表面的一盖板、置于该上表面且具有一或多数冷却通道形成于其内的一歧管块，及置于该歧管块上的一或多数阀。该上盖组件也包括置于其下表面且具有复数之孔与一或多数形成于其中之开口的一分配板，及形成于该盖板、歧管块与分配板内的至少二隔离流道。该至少二隔离流道中之一第一流道系可以流体连通至该一或多数开口，而该至少二隔离流道中之一第二流道系可以流体连通至该复数之孔。