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经营范围
发明名称
半导体装置及其制造方法
摘要
一种半导体装置,其特征在具备:包含有元件的第1基板;和贯通上述第1基板的第1插塞,上述第1插塞的材料是导电材料,且上述第1插塞与上述元件电性连接;和设置于上述第1基板上方的第2基板,且上述第2基板是介着上述第1插塞与上述元件电性连接;和贯通上述第1基板的第2插塞,上述第2插塞的材料是非绝缘材料,且上述第2插塞没有与上述第2基板电性连接。
申请公布号
TW200303070
申请公布日期
2003.08.16
申请号
TW091137532
申请日期
2002.12.26
申请人
东芝股份有限公司
发明人
泽田佳奈子;佐佐木奎一
分类号
H01L21/768
主分类号
H01L21/768
代理机构
代理人
林志刚
主权项
地址
日本
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