| 摘要 |
본 발명은 공진기내 장주기 다중 반사거울을 압축단으로 활용한 고출력 펨토초 레이저장치에 관한 것이다. 본 발명에 따른 고출력 펨토초 레이저장치는 펌프빔을 1차 공진시키는 제1 공진기와, 상기 제1 공진기에서 출력된 레이저빔을 공진시키기 위한 것으로, 제1 통공이 형성되어 있는 제1 다중반사거울과, 상기 제1 다중반사거울과 대향되도록 설치되어 상기 제1 다중반사거울과 함께 레이저빔을 공진시킬 수 있도록 반사하는 제2 다중반사거울 및 상기 제1 공진기에서 출력된 레이저빔을 상기 제1 통공을 통과해 상기 제2 다중반사거울로 반사하도록 설치된 제6 반사체를 포함하는 제2 공진기와, 상기 제2 공진기의 제1 다중반사거울과 제2 다중반사거울을 레이저빔의 압축단으로 사용할 수 있도록 상기 제1 다중반사거울과 제2 다중반사거울의 외측에 각각 상기 제1 통공 및 제2 통공을 통해 레이저빔의 전달이 가능하도록 설치되는 제1 프리즘 및 제2 프리즘과, 상기 제2 공진기에서 출력되는 레이저빔을 상기 제2 공진기의 제1 다중반사거울 및 제2 다중반사거울을 이용해 압축할 수 있도록 상기 제2 프리즘을 향해 반사하는 제7 반사체를 구비한다. |
