用以制造经接合基板的装置与方法

摘要

所揭露系为一种经接合基板制造装置，其能够降低制造具缺陷之经接合基板的机会。一转送机器人(31)吸住一基板(W2)之底部表面的外边缘区域并朝向基板之底部表面喷射气体，用以将基板承载进入一压机(15)的一真空加工室(20)中，同时维持该基板水平。一压板(24a)藉由吸引支撑基板，其系藉由转送机器人所支撑。