薄膜之制造方法及制造装置

摘要

用以保持第1薄膜材料之电子束蒸发源(42)、用以放出使第1薄膜材料加热蒸发之电子束(45)之电子束蒸发源(44)、及用以将第2薄膜材料以电阻加热法做加热蒸发之电阻加热蒸发源(48)，系以电子束(45)可通过第2薄膜材料之蒸气流中的方式来配置。藉此，可将第2薄膜材料之蒸发原子离子化。其结果，可改善所形成薄膜之特性，可提高其机械强度。又因为不需要新装置以使第2薄膜材料之蒸发原子离子化，故不会有构成复杂化、成本上升之情事。