| 摘要 |
为谋求曝光装置之小型化、轻量化。在载台RST（在与照明光EL之行进方向大致垂直之移动面内，至少能沿单轴方向移动）之内部，形成保持空间SS，在该保持空间内保持光罩R。且在载台之照明光行进方向之后侧和前侧，分别隔着既定间隙而配置第1、第2光罩盘（2、3），这些盘之面对载台之各对向面，至少一部分系作为具有光透过部（2a、3a）之载台对向面。即，在载台与各盘间隔着间隙来配置载台，而极力抑制外气透过各盘和载台之间隙而渗入到保持空间内。藉此，能得到与以隔离壁来被覆载台全体之情形同等之效果，而实现装置全体之小型化、轻量化。 |
