生产线端资料采撷与制程机台资料采撷之关联性

摘要

本发明之实施例系一种制程机台最佳化系统，此种系统包含：（a）一资料采撷引擎，其能分析生产线端资料，找出一个或数个与低良率有关的制程机台，以及（b）回应于该分析之输出值，分析来自于一个或数个制程机台的制程机台资料，藉以找出一个或数个与该低良率有关的制程机台参数。