负型光阻组成物

摘要

提供对于硷性显像液难泡胀的负型光阻组成物。含有经由照射放射线而发生酸的化合物（A）、和经由酸之作用而对于硷性溶液变化成不溶性的树脂成分（B）之可硷性显像的负型光阻组成物，该（B）成分为含有（b1）经由该（A）成分所发生之酸之作用形成内酯，成为对于硷性溶液不溶性的单位、及（b2）具有醇性羟基之单位之树脂成分的负型光阻组成物。