| 摘要 |
一种自动程序控制系统，被组构来控制具有一室之电浆处理系统，该室被组构来处理基体。该自动程序控制系统包含一第一感测器置于该室内，第一感测器被组构来实施和与至少部份置于该室内之结构相关之第一参数有关的第一多个测量。在处理基体之期间执行该第一多个测量。自动程序控制系统另包含第一逻辑电路，经连接而接收来自第一感测器之第一多个测量。第一逻辑电路被组构来使用SPC方法分析第一多个测量于该处理期间。并包含第二逻辑电路，经连接而接收来自第一逻辑电路之第一信号，如果第一信号指示该处理有错误，则第二逻辑电路被组构来停止该处理于完成该处理之前。 |
