用于以雷射光束使半导体结晶化之方法及装置

摘要

复数个雷射源发射之雷射光束被划分为复数个子光束，子光束照射于基材上之非晶形半导体之选定部分，而结晶化非晶形半导体。雷射光束间之发散角度差异藉光束扩幅器修正。该装置包括一子光束选择照射系统，包括一子光束划分总成以及一子光束聚焦总成。此外该装置包括雷射源、聚焦光学系统及组合光学系统。支承基材之平台包括复数个第一平台元件，一第二平台元件设置于第一平台元件上方，以及一第三平台元件38C以旋转式设置于第二平台上方，俾支承非晶形半导体。