摘要 |
Die Erfindung betrifft ein Verfahren zur Herstellung eines piezoelektrischen Schichtstapels (10), bei dem ein Schichtstapel (10) mit einer Mehrzahl an piezoelektrischen Keramikschichten (12) und mit einer Mehrzahl an elektrisch leitfähigen Innenelektroden (14), die sich entlang einer Längsachse (L) abwechseln, bereitgestellt wird, wobei die Keramikschichten (12) an ihrer Oberfläche (16) einen ersten Bereich (18) mit einem polykristallinen Gefüge (20) und einen zweiten Bereich (22) mit einem lediglich mechanisch an dem polykristallinen Gefüge (20) anhaftenden losen Keramikmaterial (24) aufweisen, wobei das lose Keramikmaterial (24) von dem polykristallinen Gefüge (20) entfernt wird, ohne das polykristalline Gefüge (20) zu beschädigen. Weiter betrifft die Erfindung einen Schichtstapel (10), der insbesondere mit einem solchen Verfahren hergestellt worden ist. |