发明名称 Verfahren zur Herstellung eines piezoelektrischen Schichtstapels sowie piezoelektrischer Schichtstapel
摘要 Die Erfindung betrifft ein Verfahren zur Herstellung eines piezoelektrischen Schichtstapels (10), bei dem ein Schichtstapel (10) mit einer Mehrzahl an piezoelektrischen Keramikschichten (12) und mit einer Mehrzahl an elektrisch leitfähigen Innenelektroden (14), die sich entlang einer Längsachse (L) abwechseln, bereitgestellt wird, wobei die Keramikschichten (12) an ihrer Oberfläche (16) einen ersten Bereich (18) mit einem polykristallinen Gefüge (20) und einen zweiten Bereich (22) mit einem lediglich mechanisch an dem polykristallinen Gefüge (20) anhaftenden losen Keramikmaterial (24) aufweisen, wobei das lose Keramikmaterial (24) von dem polykristallinen Gefüge (20) entfernt wird, ohne das polykristalline Gefüge (20) zu beschädigen. Weiter betrifft die Erfindung einen Schichtstapel (10), der insbesondere mit einem solchen Verfahren hergestellt worden ist.
申请公布号 DE102015210797(A1) 申请公布日期 2016.12.15
申请号 DE201510210797 申请日期 2015.06.12
申请人 Continental Automotive GmbH 发明人 Zumstrull, Claus;Wildgen, Andreas
分类号 H01L41/33;H01L41/083 主分类号 H01L41/33
代理机构 代理人
主权项
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