分离氯矽烷类中之硼化合物的方法,以及蒸发氯矽烷类用组成物

摘要

于含硼化合物之氯矽烷类中之含氟元素之盐进行作用后，使该硼化合物被含氟元素之盐吸附者为其特征之分离氯矽烷类中之硼化合物之方法。本发明可以极简单之操作下，无需特别之工程上之装置且价格便宜，即可使微量之氯矽烷类中之硼去除或浓缩。又，聚矽氧单结晶中可供与高拮抗品，可确实供与高品位之高电压半导体开关元件之同时，藉由不纯物元素之掺杂后，被拓展先行技术级数之范围。无选择图。

主权项

1.一种分离氯矽烷类中之硼化合物之方法,其特征系于含有硼化合物之氯矽烷类中使含氟元素之盐进行作用后,使该硼化合物被吸附于含氟元素之盐者。2.一种分离氯矽烷类中之硼化合物之方法,其特征系于含有硼化合物之氯矽烷类中添加含氟元素之盐后,使氯矽烷类进行蒸发者。3.一种氯矽烷类蒸发用组成物者,其特征系于含硼化合物之氯矽烷类中加入含氟元素之盐后所成者。