磁控管电浆用磁场发生装置

摘要

在使用永久磁铁的多极磁铁（磁场发生装置）中，提供一种因应于蚀刻等的处理而藉由适当地设定多极磁场的强度能容易地实现良好的电浆处理的磁控管电浆用磁场发生装置。一种磁控管电浆用磁场发生装置，属于环状地配置永久磁铁所构成的复数磁铁段，而在处理室内的被处理基板的周围形成多极磁场的磁控管电浆用磁场发生装置，其特征为：上述磁场发生装置是具有安装于段磁铁的磁性体片与未安装段磁铁的磁性体片。