用于电化学机械研磨之导电研磨件

摘要

本发明系提供一种用于平坦化基材表面之制件、方法及设备。一方面，系提供用于研磨基材之制件，该制件包括具有主体之研磨件，该主体包括至少一部分被覆有导电材料、导电填料或其组合且适用于研磨基材的纤维。另一方面，研磨件包括具有适用于研磨基材之表面及至少一种嵌入研磨表面之导电元件的主体，该导电元件包括被覆有导电材料、导电填料或其组合之介电或导电纤维。该导电元件可具有延伸超过研磨表面所限定之平面的接触表面。于该制件中可形成复数个穿孔及复数个沟渠，以促使物质流过研磨件及该研磨件各处。