| 摘要 |
本案提供一种产生气体至一处理系统的方法与设备。于一实施例中，用以产生气体给一处理系统之设备包含一单体可绝隔之可输送的滤罐，其有多数第一间隔元件、多数第二间隔元件及一固体材料安置于该滤罐内。间隔元件有不同平均直径。固体材料系适用以当在一预定压力下，曝露至一预定位准上之温度时，产生一气体蒸汽。于另一实施例中，用以产生气体的设备包含一气体源，藉由第一气体管路连接至一处理室。一滤罐系与该第一气体管路作直线连接并包含一固体材料，其当受热时，产生一处理气体。一加热器安排于气体源与该滤罐之间，以加热流入该滤罐内之气体。 |
