侦测半导体制程中化学溶剂泄漏装置及方法

摘要

一种侦测半导体制程中化学溶剂泄漏装置，包括：一控制盒，用以接收至少一输入讯号，上述控制盒包括一前面板、一电路板，用以接收至少一输入讯号并触发一警示讯号，上述前面板包括一第一指示器，用以提供上述警示讯号，表示化学溶剂泄漏；一托盘，用以蒐集泄漏之化学液体，包括复数个垂直侧边以及复数个腿部，其中至少一腿部系可调整式，使上述托盘之一角落较上述托盘之其他角落更靠近地面；以及一感测器，用以侦测化学溶剂之泄漏以及传送上述输入讯号至上述控制盒。