一种钙钛矿薄膜电容结构及其制造方法

摘要

本案系指一种于低温下之电晶体钙钛矿电容结构及其制造方法，其包含下列步骤：(a)提供一基板；(b)形成一钌薄膜于该基板上；以及(c)再依序形成一第一钌酸锶钡电极、一钙钛矿电容材料之结构、及一第二钌酸锶钡电极结构于该钌薄膜上。