清除制程微粒子的方法

摘要

一种清除制程微粒子的方法，至少包含一高速水柱喷射刷洗的刷洗步骤来去除晶圆片表面因制程而生之微粒子，与一同位气体电浆处理来中和因高速水柱喷射刷洗而聚积于晶圆片表面之电荷，本方法可以提升后续制程的良率。