| 摘要 |
提供了在一个高频电源使复数的电浆处理装置同时地放电，在被处理物的表面形成了被覆膜，于各处理室能在同一速率下进行蚀刻、灰化之同步放电装置。在一个高频电源下对复数的电浆处理装置同时地放电的同步放电装置；前述复数的电浆处理装置系发生电浆用电极为线圈状之电感耦合型电浆为主之电浆处理装置，自前述高频电源的电力供给线对各个前述电浆处理装置设有分歧部使其分歧，且构成在前述分歧部的下流侧与各个的前述电浆处理装置之间各自设置有固体式电容器的同时，前述固体式电容器的阻抗为同样的下流侧之前述发生电浆用线圈状电极的阻抗的2.3～2.7倍。 |
