微机电系统可调式光衰减器及其制造方法

摘要

本发明揭露一种微机电系统可调式光衰减器及其制造方法，该可调式光衰减器包含一可动遮光元件，用以衰减进入该可调式光衰减器之一光讯号的能量；一第一光纤，于该可动遮光元件之一侧呈横向配置，其面对该可动遮光元件之一端具有一第一斜面；以及一第二光纤，于该可动遮光元件之另一侧呈横向配置，其面对该可动遮光元件之一端具有一第二斜面，该第二光纤与该第一光纤位于同一平面上，该第一斜面与该第二斜面平行相对而相距一第一距离，且该第二光纤之中心轴线相对于该第一光纤之中心轴线偏移一第二距离。