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发明名称
半导体装置及其制造方法
摘要
接触柱塞17a、17b,其上表面之面积系大于下表面之面积。藉此,可使接触柱塞17a、17b,与连接于该接触柱塞17a、17b之上表面之杜塞之间形成良好之连接。
申请公布号
TW200412651
申请公布日期
2004.07.16
申请号
TW092116762
申请日期
2003.06.20
申请人
瑞萨科技股份有限公司
发明人
广川太一;川濑佑介;松村明
分类号
H01L21/768
主分类号
H01L21/768
代理机构
代理人
洪武雄;陈昭诚
主权项
地址
日本
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