离子束分布检测装置及使用其之离子束配向处理装置

摘要

本发明提供一种装置关于电性测量照射到任意离子束处理位置的离子束照射量，以此测量结果为基础，检测此离子束发散度的离子束分布检测装置及使用其之离子束配向处理装置。一种离子束分布检测装置，其电性检测在照射到所希望被处理面的离子束带电粒子分布，具备导电框4：设有开口部41；法拉第杯群2：配置法拉第杯201–215，其捕获通过开口部41的前述离子束；及电流计5：分别测量在法拉第杯201～215产生的电流。