发明名称 A SINGLE ELECTRON TUNNELING DEVICE AND A FABRICATING METHOD THEREOF
摘要
申请公布号 KR100446598(B1) 申请公布日期 2004.08.23
申请号 KR19970045812 申请日期 1997.09.04
申请人 SAMSUNG ELECTRONICS CO., LTD. 发明人 KIM, BYEONG MAN;KIM, WON SIK;LEE, JO WON
分类号 H01L29/68;(IPC1-7):H01L29/68 主分类号 H01L29/68
代理机构 代理人
主权项
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