一种基板支撑结构

摘要

本发明系有关于一种乾蚀刻机台之基板支撑结构，系配合一基板，主要包括：一基座；以及复数个支撑架，该支撑架包括一间隔臂以及至少一支撑臂，该支撑臂包括有一接触平面，该间隔臂之下端垂直连接于该基座且上端连接于该支撑臂，而该支撑臂系垂直于该间隔臂；其中该支撑臂系利用该接触平面接触并支撑该基板。