光阻去除装置及方法

摘要

本发明揭示一种光阻去除装置及方法，用以去除厚膜光阻。包含：一光阻去除处理槽，用以容纳溶剂及置入整批要处理之晶圆，具有加热装置，出口管线及入口管线；一过滤器及开关，用以滤除小颗粒之光阻，形成A循环；一帮浦，用以抽回过滤之溶剂至处理槽以循环利用溶剂；复数群光阻拦网，每群有复数组多层拦网及开关，每处理一批晶圆，选用其中一组多层拦网路径，多层拦网用以滤除大颗粒之光阻，形成B循环；多层拦网系可抽卸式更换拦网以进行清洗保养；一溶剂储槽，集存已过滤之溶剂，由帮浦抽回送至处理槽以循环利用溶剂；一控制单元，控制处理槽及各开关之运作，纪录已用过之多层拦网。