有机发光显示器之薄膜电晶体的制作方法

摘要

一种有机发光显示器之薄膜电晶体的制作方法，该方法系先于一基板上沈积一第一金属层，并利用一黄光暨蚀刻制程以形成该薄膜电晶体之一闸极，接着依序于该闸极表面形成一闸极绝缘层、一微晶矽层、一非晶矽层以及一掺杂半导体层，再去除部份之该掺杂半导体层、该非晶矽层以及该微晶矽层，然后于该基板上形成一第二金属层，并利用另一黄光暨蚀刻制程，以形成该薄膜电晶体之一源极与一汲极，最后同时去除部份之该掺杂半导体层以曝露出该非晶矽层，以及于该基板上形成一保护层。