清除装置及清除方法

摘要

本发明系以：使来自被收容在晶圆传送盒(FOUP)中的晶圆之污染物质的除去操作，容易且确实地实行做为目的。为了达成该目的，本发明之清除装置，系在晶圆传送盒中的盖从本体分离的状态下，将开口的前面沿着晶圆被重叠的方向而将气体供给喷嘴移动，从气体供给喷嘴将清洁气体对一片一片的晶圆吹出之时，可进行使污染物质等从晶圆上除去。