| 主权项 |
一种压力可调之探针座结构改良,其特征在于:该探针座系包含一臂座及连结之作动机构,其中,该臂座上则各设有X、Y、Z轴之调整手轮,俾以供调整各轴上之块体移动;另该作动机构系含有一具贯穿孔之探针臂动件,及其下方连结具有一突柱之接点悬臂板,而此板体则之一端则塞入一具沟槽之探针臂上,以及藉突柱穿伸入该探针臂动件之贯穿孔内,并由一压力调整弹簧容入,起上方锁入一压力调整钮,而在接点悬臂板底方则接设一弹簧片,俾以形成一弹性接点,另在该探针臂动件之前端处则设一金接点并连结一探针,由金接点之开关感知探针是否触及晶粒,并藉探针导入电讯号以据此感测晶粒之良窳者。图式简单说明:第一图系本创作之立体分解示意图。第二图系本创作之组合立体示意图。第三图系本创作之组合立体示意图。第四图系本创作之X轴作动示意图。第五图系本创作之Y轴作动示意图。第六图系本创作之Z轴作动示意图。第七图系本创作之平面作动示意图。 |
