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发明名称 SEMICONDUCTOR MANUFACTURING EQUIPMENT
摘要
申请公布号 AU2003254827(A1) 申请公布日期 2005.02.25
申请号 AU20030254827 申请日期 2003.08.06
申请人 NIUYA, TAKAYUKI 发明人 TAKAYUKI NIUYA
分类号 B08B3/04;H01L21/00;(IPC1-7):H01L21/304;B08B3/02 主分类号 B08B3/04
代理机构 代理人
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