浅沟渠隔离结构以及其制造方法

摘要

一种浅沟渠隔离结构以及其制造方法，此方法系先提供一基底，之后于基底上形成图案化之罩幕层，再利用此罩幕层为蚀刻罩幕，图案化此基底而形成一沟渠。接着，进行氮化处理步骤以在沟渠表面形成氮化矽衬层，再于沟渠内填入绝缘层。由于所形成之浅沟渠隔离结构具有较薄之氮化矽衬层，所以不但可以解决知残存应力的问题，而且对浅沟渠之深宽比的影响也很小。