| 主权项 |
1.一种晶圆定位与挟持工作台,包括:一平面定位平台;以及一晶圆承载装置,包括:一接合模板,其固定于该平面定位平台上;一扩张驱动模组,其固定于该接合模板上;一角度定位驱动模组,其固定于该接合模板上;以及一晶圆定位与扩张装置,其包括一晶圆挟持单元和一回转与升降单元,该晶圆挟持单元设于该回转与升降单元上,该回转兴升降单元设于该接合模板上,该回转与升降单元包括一回转齿轮组件和一升降齿轮组件;其中该扩张驱动模组驱动该升降齿轮组件,进而带动该晶圆挟持单元作升降动作;该角度定位驱动模组驱动该回转齿轮组件,进而带动该晶圆挟持单元作回转动作。2.如申请专利范围第1项所述之晶圆定位与挟持工作台,其中该平面定位平台包括一第一直线运动机构和一第二直线运动机构,该第一直线运动机构的行进轨迹和该第二直线运动机构的行进轨迹相垂直。3.如申请专利范围第2项所述之晶圆定位与挟持工作台,其中该平面定位平台包括一第一驱动装置和一第二驱动装置,该第一驱动装置驱动该第一直线运动机构,该第二驱动装置驱动该第二直线运动机构,该接合模板固定于该第二直线运动机构上。4.如申请专利范围第3项所述之晶圆定位与挟持工作台,其中该第一驱动装置为一伺服马达。5.如申请专利范围第3项所述之晶圆定位与挟持工作台,其中该第二驱动装置为一伺服马达。6.一种晶圆承载装置,包括:一接合模板;一扩张驱动模组,其固定于该接合模板上;一角度定位驱动模组,其固定于该接合模板上;以及一晶圆定位与扩张装置,其包括一晶圆挟持单元和一回转与升降单元,该晶圆挟持单元设于该回转与升降单元上,该回转与升降单元设于该接合模板上,该回转与升降单元包括一回转齿轮组件和一升降齿轮组件;其中该扩张驱动模组驱动该升降齿轮组件,进而带动该晶圆挟持单元作升降动作;该角度定位驱动模组驱动该回转齿轮组件,进而带动该晶圆挟持单元作回转动作。7.如申请专利范围第6项所述之晶圆承载装置,其中该扩张驱动模组包括一伺服马达、一第一斜齿轮、一第二斜齿轮和一驱动齿轮,该伺服马达的一驱动轴固接于该第一斜齿轮,该第二斜齿轮固接于该驱动齿轮,该第一斜齿轮啮合于该第二斜齿轮。8.如申请专利范围第6项所述之晶圆承载装置,其中该角度定位驱动模组包括一伺服马达、一第一斜齿轮、一第二斜齿轮和一驱动齿轮,该伺服马达的一驱动轴固接于该第一斜齿轮,该第二斜齿轮固接于该驱动齿轮,该第一斜齿轮啮合于该第二斜齿轮。9.如申请专利范围第6项所述之晶圆承载装置,其中该晶圆挟持单元为一圆环状结构,该晶圆挟持单元内形成一插置空间,该插置空间系用以插取和固定一晶圆环于其内。10.如申请专利范围第6项所述之晶圆承载装置,其中该回转与升降单元包括一导螺杆和一导引杆,该导螺杆的顶端和该导引杆的顶端抵接于该晶圆挟持单元。11.如申请专利范围第6项所述之晶圆承载装置,其中该回转齿轮组件包括一固定环、一第一齿轮构件和一第一滚动轮,该固定环固定于该接合模板上,该第一齿轮构件为圆环状结构且设有外轮齿,该第一滚动轮的一端轮缘配合于该固定环的外环缘,该第一滚动轮的另一端轮轴固接于该第一齿轮构件,该角度定位驱动模组驱动该第一齿轮构件的外轮齿。12.如申请专利范围第11项所述之晶圆承载装置,其中该第一滚动轮的一端轮缘呈内凹的V字型,该固定环的外环缘为凸出的V字型。13.如申请专利范围第6项所述之晶圆承载装置,其中该回转齿轮组件包括一固定环、一第一齿轮构件、一第二齿轮构件和一第二滚动轮,该固定环固定于该接合模板上,该第一齿轮构件为圆环状结构且设有外轮齿,该第二齿轮构件为圆环状结构且设有外轮齿,该第二滚动轮的一端轮缘配合于该固定环的外环缘和该第二齿轮构件的内环缘,该第二滚动轮的另一端轮轴固接于该第一齿轮构件,该扩张驱动模组驱动该第二齿轮构件的外轮齿。14.如申请专利范围第13项所述之晶圆承载装置,其中该第二滚动轮的一端轮缘呈内凹的V字型,该第二齿轮构件的内环缘为凸出的V字型。15.如申请专利范围第6项所述之晶圆承载装置,其中该升降齿轮组件包括一第一齿轮构件、一第二齿轮构件、一第三齿轮构件、一轴承组件、一心轴和一导螺杆,该第二齿轮构件设有外轮齿和内轮齿,该第三齿轮构件设有外轮齿,该第三齿轮构件的外轮齿啮合于该第二齿轮构件的内轮齿,该轴承组件固定于该第一齿轮构件,该心轴的一端固定于该第三齿轮构件内,该心轴的另一端枢接于该轴承组件内且设有内螺纹,该导螺杆的底端螺接于该心轴的内螺纹,该导螺杆的顶端抵接于该晶圆挟持单元,该扩张驱动模组驱动该第二齿轮构件的外轮齿。16.如申请专利范围第15项所述之晶圆承载装置,其中该第二齿轮构件具有齿轮部和导引部,该齿轮部设有外轮齿和内轮齿,该导引部的内环缘为凸出的V字型。17.如申请专利范围第15项所述之晶圆承载装置,其中该轴承组件包括一轴承和一轴承座,该轴承设于该轴承座内,该心轴枢接于该轴承内,该轴承座固定于该第一齿轮构件。18.如申请专利范围第15项所述之晶圆承载装置,其中该回转与升降单元包括一导引组件,该导引组件包括一线性导引套环和一导引杆,该线性导引套环固定于该第一齿轮构件,该导引杆的底端滑设于该线性导引套环内,该导引杆的顶端抵接于该晶圆挟持单元。图式简单说明:第一图系本创作晶圆定位与挟持工作台之立体图。第二图系本创作平面定位平台和接合模板之立体图。第三图系本创作晶圆承载装置之立体图。第四图系本创作晶圆承载装置之俯视图。第五图系本创作扩张驱动模组之立体图。第六图系本创作晶圆定位与扩张装置之立体图。第七图系本创作晶圆挟持单元之立体图。第八图系本创作回转与升降单元之俯视图。第九图系第八图之9-9剖面示意图。第十图系第八图之10-10剖面示意图。第十一图系本创作晶圆定位与扩张装置之俯视图。第十二图系第十一图之12-12剖面示意图。第十三图系第十一图之13-13剖面示意图。 |
