发明名称
摘要
申请公布号 KR100477021(B1) 申请公布日期 2005.07.25
申请号 KR19970007862 申请日期 1997.03.08
申请人 发明人
分类号 H01L21/335;(IPC1-7):H01L21/335 主分类号 H01L21/335
代理机构 代理人
主权项
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