接触窗的制造方法及自行对准接触窗结构

摘要

一种接触窗的制造方法，此方法系先提供具有多个闸极结构之基底，且闸极结构系由闸介电层、闸极导电层与顶盖层所构成。然后，于闸极结构的侧壁形成间隙壁。接着，在于基底上形成衬层后，于相邻二闸极结构之间的表面形成保护层。继之，于基底上形成介电层，覆盖保护层及衬层。然后，进行图案化制程，蚀刻介电层、保护层、衬层与顶盖层，以形成接触窗开口，以及形成位于相邻二闸极结构之间，且暴露出基底之自行对准接触窗开口。接着，于接触窗开口与自行对准接触窗开口中填入导电层。