发明名称 MULTI DISCHARGING ELECTRODE STRUCTURE AND ATMOSPHERIC PRESSURE PLASMA PROCESSING SYSTEM USING THE SAME
摘要
申请公布号 KR20050099669(A) 申请公布日期 2005.10.17
申请号 KR20040024831 申请日期 2004.04.12
申请人 WI, SOON IM 发明人 WI, SOON IM
分类号 H01J37/32;(IPC1-7):H01J37/32 主分类号 H01J37/32
代理机构 代理人
主权项
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