涂布装置及其涂布方法

摘要

本发明之涂布装置系由用以供应涂布液之涂布液供应装置，及用以从该涂布液供应装置供应涂布液，同时在与该涂布液供应装置隔着特定间隔之位置在连续式输送之带状支撑体上形成特定膜厚之涂布膜之涂布装置所构成，且该涂布装置系固定在有源除振装置上者。