蚀刻终点侦测视窗

摘要

一种蚀刻终点侦测视窗，其适合于装设于蚀刻反应腔体壁上，以作为蚀刻终点侦测之讯号输入侧，其包括主体部、二侧翼及透光薄片，其中二侧翼系延伸于主体部之相对二侧，且主体部具有一插槽形成于其后端面，及具有复数穿透孔贯穿其前后两端面，并使透光薄片系脱插于插槽。如此使蚀刻反应腔体内之光讯号穿过主体部之穿透孔，且透过透光薄片而被蚀刻终点侦测侦测。