输送基座之制程系统及装置

摘要

根据本发明之制程系统具有一用来输送位于输送支架(T)上基座(23)之装置，其中，该装置具备一支撑模组又一驱动模组，而该支撑模组具有一由电磁铁所构成之主动子之支架定子及一由铁磁性元件所构成之支架转子，其特征为，透过至少两个相互间隔开来之主动子构成一具有相对应之间隙范围之主动子对，且于该间隙范围内，设有一支架转子之主动磁性支架。