支撑导件

摘要

本发明揭示一种用于传输一可挠性延长基板(13)之支撑导件(11)。该支撑导件(11)包含一支撑表面(17)及一用于在该支撑表面与该基板(13)之间供应一流体的流体供应构件。该流体使该基板与该支撑表面(17)保持分离，且在该基板与该支撑表面之间的该流体之流动在基板之上引起一净纵向力。