| 主权项 |
1.一种离子植入机用橡胶之裁剪辅助工具,适用于 一离子植入机,其中该离子植入机中设有一平台, 其上设有一橡胶,且该平台上形成有复数个第一开 孔和复数个第一缺口,而上述辅助工具包括: 一裁剪器,用以裁剪该橡胶; 一样板,用以供该橡胶放置于其上,且在其上形成 有分别与该等第一开孔对应的复数个第二开孔以 及分别与该等第一缺口对应的复数个第二缺口。 2.如申请专利范围第1项所述之剪裁辅助工具,其中 该裁剪器为一刀子。 3.如申请专利范围第1项所述之剪裁辅助工具,其中 该裁剪器为一雷射。 4.一种离子植入机用橡胶之裁剪方法,包括: (a)提供一种如申请专利范围第1项所述之剪裁辅助 工具; (b)提供一离子植入机用橡胶; (c)将该样板放置在.该离子植入机用橡胶上; (d)依据该样板之该等第二开孔和该等第二缺口,裁 剪该离子植入机用橡胶,以在其上形成分别与该等 第二开孔对应的复数个第三开孔以及分别与该等 第二缺口对应的复数个第三缺口;以及 (e)以使该等第三开孔分别与该等第一开孔对应、 且该等第三缺口分别与该等第一缺口对应的方式, 将该离子植入机用橡胶放置于该平台上。 图式简单说明: 第1a图系显示离子植入机之平台之示意图,其上图 示一未裁剪的橡胶; 第1b图系显示将未裁剪的橡胶放置于平台上之示 意图; 第1c图系显示裁剪后的橡胶放置于平台上之示意 图; 第2图系显示本发明之离子植入机用橡胶之裁剪辅 助工具之平面图; 第3a图系显示本发明之离子植入机用橡胶之裁剪 辅助工具及未裁剪的橡胶之示意图; 第3b图系显示将未裁剪的橡胶放置于辅助工具下 之示意图; 第3c图系显示裁剪后的橡胶放置于辅助工具下之 示意图; 第3d图系显示离子植入机之平台之示意图,其上图 示裁剪后的橡胶;以及 第3e图系显示裁剪后的橡胶放置于平台上之示意 图。 |
