发明名称 CHEMICAL MECHANICAL POLISHING COMPOSITION FOR METAL CIRCUIT
摘要
申请公布号 KR20070047020(A) 申请公布日期 2007.05.04
申请号 KR20050103675 申请日期 2005.11.01
申请人 SAMSUNG CORNING CO., LTD. 发明人 RHEE, JI HOON;EOM, DAE HONG;LEE, SANG ICK
分类号 C09K3/14 主分类号 C09K3/14
代理机构 代理人
主权项
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