含有镧系元素之氧化物的标靶

摘要

本发明系揭示一种氧化物之标靶,其为含有铟(In)、与由下述A群所选出之元素(A)的氧化物之标靶,其特征为,含有以AInO3表示之化合物。A群:镧(La)、钕(Nd)、镱(Yb)、铒(Er)及镝(Dy)。