溅镀装置及溅镀方法

摘要

一种溅镀装置及溅镀方法。溅镀装置用以溅镀一薄膜于至少一基材上。溅镀装置至少包括一移动机构及一固定机构。移动机构用以带动一基材往一输送方向移动。固定机构系与移动机构耦接,且固定机构用以固定至少一靶材于基材上方。其中,靶材之长边与基材之输送方向系实质上平行。