蒸镀源及使用该蒸镀源之真空蒸镀机

摘要

一种具有可于基板之宽度方向构成均匀之膜厚分布之喷嘴结构的蒸镀源及使用该蒸镀源之真空蒸镀机,藉由以加热使蒸镀材料气化或昇华所生成之蒸气系自长形喷嘴开口呈带状吐出,另一方面,被蒸镀基板系于与前述喷嘴开口对峙之状态下朝与该喷嘴开口之长向正交之方向方向搬送,又,前述喷嘴开口长向之平均单位面积之蒸气吐出流量系构成为相较于喷嘴开口之部在与基板端部位置相同之喷嘴宽度方向位置之部分构成最大,同时于喷嘴开口内配置有复数用以赋予蒸气流方向性之分隔板。