发明名称 APPARATUS FOR PRINTING OF A MATERIAL ON A SUBSTRATE
摘要 기판 상의 프린팅을 위한 장치가 개시된다. 장치는 재료 회수(recovery) 디바이스, 및 기판 지지부에 대한 재료 회수 디바이스의 거리를 조정하도록 구성되는 제1 리니어 모터(linear motor)를 포함한다. 뿐만 아니라, 제1 리니어 모터를 사용하여 기판 지지부에 대하여 재료 회수 디바이스를 위치설정하는 단계를 포함하는, 기판 상의 재료의 프린팅을 위한 방법이 제공된다.
申请公布号 KR20160145176(A) 申请公布日期 2016.12.19
申请号 KR20167032178 申请日期 2014.04.17
申请人 어플라이드 머티어리얼스 이탈리아 에스.알.엘. 发明人 베르세시, 톰마소
分类号 B41F15/42;B41F15/46;H01L31/00 主分类号 B41F15/42
代理机构 代理人
主权项
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