发明名称 VERFAHREN ZUM HERSTELLEN EINER ISOLIERSCHICHT AUF EINEM VERBINDUNGSHALBLEITER
摘要
申请公布号 DE2248598(A1) 申请公布日期 1973.04.19
申请号 DE19722248598 申请日期 1972.10.04
申请人 KATO,ICHIRO 发明人 SUGANO,TAKUO;MORI,YOSHIFUMI
分类号 H01L21/31;H01L21/316;H01L21/76;H01L33/30;H01L33/44;(IPC1-7):H01L1/10 主分类号 H01L21/31
代理机构 代理人
主权项
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