| 发明名称 |
METHODS OF DEPOSITING SEMICONDUCTOR MATERIAL |
| 摘要 |
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| 申请公布号 |
GB1322347(A) |
申请公布日期 |
1973.07.04 |
| 申请号 |
GB19700056236 |
申请日期 |
1970.11.26 |
| 申请人 |
PHILIPS ELECTRONIC ASSOCIATED INDUSTRIES LTD |
发明人 |
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| 分类号 |
C01B33/02;C23C16/24;C30B25/02;H01L21/00;H01L21/205;(IPC1-7):C01B33/02;C23C11/00;B01J17/28 |
主分类号 |
C01B33/02 |
| 代理机构 |
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代理人 |
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| 主权项 |
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| 地址 |
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